一、電子工業(yè)潔凈廠房微振控制一般規(guī)定

1. 潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。

2. 設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規(guī)定：

      （1） 總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響；

      （2）設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；

      （3）對設有精密設備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；

      （4） 潔凈室（區(qū)）內精密設備、儀器，經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。

二、電子工業(yè)潔凈廠房容許振動值

1. 微振動控制設計應根據(jù)精密儀器、設備的特性，采取綜合隔振措施，并應滿足容許振動值的要求。

2. 精密設備、儀器的容許振動值物理量的表述，應采用時間域或頻率域的振動加速度、振動速度和振動位移等。

3. 精密儀器、設備的容許振動值，應由制造商提供。無法確定時，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。

三、電子工業(yè)潔凈廠房振動控制設計要求

1. 潔凈廠房的微振動控制設計，應按下列階段進行微振動測試分析：

      （1） 場地環(huán)境振動測試及分析；

      （2） 潔凈廠房建筑結構振動特性測試及分析；

      （3） 精密設備、儀器安裝地點環(huán)境振動測試及分析；

      （4） 微振動控制的最終測試及分析。

2. 有微振動控制要求的潔凈室（區(qū)），其建筑結構的微振動控制設計，應符合下列規(guī)定：

      （1） 建筑物基礎宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎應有足夠剛度；

      （2） 應設置獨立的建筑結構微振動控制體系，并應與廠房主體結構分隔；

      （3） 主體結構應根據(jù)微振動控制的要求，適當加大梁、柱、墻、基礎等截面尺寸。

3. 有強烈振動的設備和管道，宜采取主動隔振措施，并應符合下列要求.

      （1） 宜采用隔振臺（座）；

      （2） 應選用剛度適當?shù)母粽衿鳎?/p>

      （3） 通往潔凈室（區(qū)）的管道，宜采取隔振支（吊）架、柔性連接等隔振措施。

4. 潔凈室內精密設備、儀器的被動隔振措施的設計，應符合下列要求：

      （1） 隔振臺（座）應具有足夠的剛度；

      （2） 應采用低剛度隔振設施；

      （3） 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應小于0.15；

      （4） 隔振臺（座）應采取傾斜校正措施；

      （5）隔振設施不應影響氣流流型，

      （6） 當采用空氣彈簧隔振器時，其供氣系統(tǒng)應進行凈化處理，并應達到潔凈室空氣潔凈度等級的要求。