電子工業(yè)潔凈廠房干燥壓縮空氣系統(tǒng)設計要求如下：

1. 潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應符合下列規(guī)定：

      （1） 供氣規(guī)模應按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量；

      （2） 供氣品質(zhì)應根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；

      （3） 供氣系統(tǒng)可集中設置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；

      （4） 應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機；

      （5）含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

2. 干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點低于-76℃時，應采用內(nèi)壁電拋光低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光不銹鋼管；露點低于-40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

3. 管道連接應符合下列規(guī)定：

      （1） 宜采用焊接，不銹鋼管應采用氬弧焊；

      （2） 含水量露點嚴于-40℃時，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；

      （3） 當采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。